半導體 及 封裝製造

應用的產品有G-line、I-line及厚膜等光阻,主要應用於半導體及封裝產業的黃光製程;此外,我們也提供一系列的相關產品,包括光阻劑的顯影液等。基於關懷顧客、共創價值的理念,永光化學將持續以無塵室生產技術及精密分析儀器確保產品品質,為顧客提供更佳的服務效能。

EPI 620 正型光阻劑

具有高解稀度和耐熱性佳的正型光阻劑,應用於積體電路的製造。

  • 高解稀度
  • 附著性佳
  • 耐熱性佳
  • 較大製程寬容度

EPI 680 正型光阻劑

具有高感光性 I-line 正型光阻劑,應用於積體電路製造中的保護層。

  • 高感光性
  • 附著性佳
  • 較大製程寬容度

EPI 687 正型光阻劑

具有高感光性 I-line 正型光阻劑,應用於積體電路製造中的保護層。

  • 高感光性
  • 低黏度
  • 圖形較佳

– 其它應用領域 – 

半導體 & 封裝製造  |  平面顯示器製造  |  發光二極體製造  |  觸控應用