發光二極體製造

提供 LED 上游製程使用的各種基板拋光用研磨漿料,分別應用於藍寶石基板與矽晶圓基板及不鏽鋼材的前、後段拋光製程。亦提供LED中游階段黃光製程使用之正、負型光阻劑。 為使客戶省略強酸蝕刻貴金屬之製程,永光開發應用於 Lift-off 製程的光阻劑;此外,提高 LED 發光效率的 PSS (Pattern Sapphire Substrate) 製程所使用的光阻劑,亦是供應客戶的重點產品。

EPI 612 高解析度正型光阻劑

LED藍寶石基板圖形化(PSS)製程用。

  • 高感光度
  • 高解析度
  • 附著性佳
  • 製程寬容度大
  • 塗佈均勻性佳

– 其它應用領域 –

半導體 & 封裝製造  |  平面顯示器製造  |  發光二極體製造  |  觸控應用